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 扫描探针显微镜探针厂家认为一般的化学分析方法只能得到分析样品的平均成分，而在电子显微镜上可以实现与微区形貌相对应的微区分析，因此对于研究材料的微观结构和元素分布是有用的分析方法。电子探针的作用主要是分析微区的成分。它是一种基于电子光学和X射线光谱学原理开发的高 效分析仪器。

扫描探针显微镜探针厂家认为电子探针仪器的筒部结构与扫描电镜基本相同，只是探测器部分采用了X射线光谱仪，专门用于探测X射线的特征波长或能量，从而分析微区的化学成分。因此，除了专用的电子探针仪器外，还有相当数量的电子探针仪器作为附件安装在扫描电子显微镜或透射电子显微镜的镜片上，以满足微区微观结构、晶体结构、化学成分三位一体分析的需要。

扫描探针显微镜探针厂家认为电子探针的筒体和样品室与扫描电镜没有本质区别。因此，常常将扫描电镜和电子探针结合起来，使一台仪器同时具有形貌分析和成分分析的功能。电子探针的信号检测系统是X射线光谱仪，用于测量特征波长的光谱仪称为波长色散光谱仪(WDS)或光谱仪。用于测量X射线特征能量的谱仪称为能量色散谱仪(EDS)或能谱仪。

扫描探针显微镜探针厂家认为在电子探针中，X射线是从样品表面以下一微米甚至纳米的作用体积中激发出来的。如果该体积包含许多元素，则可以激发每个相应元素的特征波长X射线。特征X射线的波长(或频率)不随入射电子的能量(加速电压)而变化，而是由构成该物质的元素种类(原子序数)决定。

扫描探针显微镜探针厂家认为不同元素的特征X射线波长差别很大。为了使可分析元素尽可能地覆盖同一周期表中的所有元素，需要配备几个面间距不同的光谱晶体。在光谱仪中，X射线信号来自样品表面的微小体积，可以看作是点光源。点光源发出的X射线是发散的，只有很小一部分能到达分光晶体表面，所以信号很弱。

扫描探针显微镜探针厂家认为STM在早期被认为是一种原子分辨率成像技术，但它对广泛的基础科学产生了深远的影响。在材料科学中，它为已知材料的纳米特性提供了新的见解，也可以研究新的纳米材料。在化学中，STM使得人们能够理解催化剂的表面粗糙度和电子特性是如何控制其性能的。虽然许多生物样品是不导电的，但已经表明它们可以涂上薄金属膜并沉积在导电基底上或在潮湿条件下扫描，这样STM就可以用来研究它们。