CVD

Centrotherm HORICOO 200 是大量现场验证及具有超多功能的卧式炉系统，基于客户需求可灵活选择大、中批量生产以及研发类型机台。为AP、LP和PECVD等多种工艺应用提供了可靠的工艺能力和很高的工艺性能。此外，同一系统不同工艺炉管可以匹配相关设施(大气、真空或混合)配置不同的工艺