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导电探针的技术支持有哪些？

  1.电子光学系统

  该系统为导电探针分析提供了充足的入射能量、充足的光束和样品表面的轰击战中光束直径几乎较小的电子束作为X射线的刺激源。为此，一般还采用钨热发射电子枪和2 ~ 3个聚光镜的结构。为了提高X射线的信号强度，导电探针使用比扫描电镜更高的入射电子束流(范围为10-9-10-7A)，常用的加速电压为10-30 KV，光束直径约为0.5m。

  导电探针在镜子部分与扫描电镜有明显差异的是光学显微镜。用于选择和确定分析点。方法是先把能发出荧光的材料(如ZrO2)放在电子束轰击下。这可以观察电子束轰击点的位置，通过样品移动装置，可以移动到光学显微镜目镜的十字交叉点，从而确保电子束被轰击到分析点，并确保分析点处于X射线光谱仪的正确位置。电子探针中使用的大多数光学显微镜都是同轴反射式物镜，优点是可以同时进行光学观察和X射线分析。放大率是100-500倍。

  2.x射线光谱仪

  电子束轰击样品表面，X射线的特征不同，不同元素X射线特征的波长和能量也不同。可以通过识别特性波长或特征能量来确定要分析的因素。利用特征波长确定元素的仪器称为波长色散光仪(光谱仪)，利用特征能量称为能量色散光仪(光谱仪)。

  1、分光计

  谱仪的关键是实现将未知特征补线与已知元素Z连接的方法。为此，假设晶面间距为D的特定晶体(我们称之为光子晶体)。不同特征波长的X射线照射这一点，如果满足布拉格条件(2D  Sin=)，就会发生衍射。很明显，对于给定入射角中的一个，只有一个确定的波长满足衍射条件。这样，当电子束产生的X特征光线照射在分光晶体上时，可以在与入射方向相交2角的相应方向接收波长的X射线信号。还测量了相应的化学元素。探测器进行2角的连续扫描，可以在整个元素范围内进行连续测量。

  由分光晶体分散的单波长X射线被X射线探测器接受，常用的探测器是比例计数器。当x射线光子进入计数管时，管内的气体电离，电场作用下产生电脉冲信号。下图显示了电子探针的X射线记录和显示设备框图。从计数器输出的电信号经过前置放大器和主放大器放大到0-10V左右的电压脉冲信号，然后发送到脉冲高度分析器。