干法去胶

Trymax NEO200A系列自动干法去胶
  • 产品品牌: 荷兰 Trymax
  • 产品产地: 荷兰
  • 应用领域:
  • 产品简介:

【主要应用】

前道：Light Etching；Descum strip；PR Ashing；离子注入后，光刻后，镀膜前等工艺过程；

后道/先进封装/3D IC：Descum Bumping；Plasma Treatment；Wafer Cleaning等。

【主要参数】

• 双Cassette

• 3轴机械手

• 单射频源配置（13.56MHz）

• 单微波源配置（2.45GHz）

• 双源配置（RF/MW）

• DCP双源（RF/RF）

• 适应wafer 100mm~200mm