一、亮点

1）10ppm------检测极限

由于XRF谱图背景低于EDS谱图，Micro-XRF可实现微量元素分析

2）4mm/s------移动速度

可选的、快速样品、支持大面积的高速面分析

3）1 nm - 40um层厚度范围

可分析从1 nm到40 um具有多层结构的薄膜

4）微区 XRF 是 SEM 中 EDS 分析的互补分析技术

a）扫描电子显微镜（SEM）的微区 X 射线荧光 （Micro-XRF） 技术是与传统能量分散光谱（EDS）能力补充的无损分析技术。这种分析技术对于未知样品中元素成分的表征非常重要，而未知样品的尺寸可以从厘米尺寸的不均匀样品到微米尺寸的颗粒

b）X射线激发源为微量元素的检测带来了更高的灵敏度（对于某些元素，检出限可低至 10ppm）。同时，光谱范围可以拓延（高达40 keV）以及探测深度可以更深

c）配备 X 射线管，结合微聚焦 X 射线光学器件，可产生 30 μm 的小束斑和高强度通量

d）模块化基于压电的样品台，专门设计用于安装在现有SEM 样品台上，使大面积高速元素X射线面分析"飞一样地"运行，速度高达4毫米/秒。这使得在 50 x 50 mm（或更大）的样本面积上采集 X 射线面分布数据成为可能。同时，轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的 X 射线数据也纳入快速且用户友好的工作流中

e）X射线激发的样品深度更深，这让多层系统的表征成为可能。1 nm到高达40μm 的薄膜样品均可以分析，而这是用电子束源激发无法实现的

二、优势

通过 Micro-XRF 和快速样品台扩展您的 SEM 分析能力

a）双束电压，包括电子束和X射线束，这为材料表征提供了新的可能性 - 可以同时使用两个束源来调查样品

b）使用相同的探测器同时进行电子束/微区XRF信号采集，包括轻元素光谱数据，微量元素和/或更高能量X射线数据

c）XTrace和 快速样品台 都无缝集成到 ESPRIT软件中

d）EDS 和 微区XRF 定量方法相结合，将电子激发的更好的轻元素灵敏度与 XRF 更好的微量元素表征灵敏度相结合，产生更完整的样品表征结果

e）与微区 XRF 和 电子束同步面分析表征，结合两个技术的优势。使用电子束激发较轻的元素（碳到钠），使用微区 XRF激发较重的元素

f）剥离的谱峰峰值和扩展的光谱范围让用户能够看到高能量 K 线，因为它们不复杂且重叠峰更少

g）几乎不需要样品制备 – 不导电样品表面，也无需抛光

h）包含无标样和有标样定量模型

i）在um尺度且低浓度水平下，也能同时分析轻元素和重元素

三、相关应用图片