键合对准

EVG 610BA对准系统
  • 产品品牌: 奥地利 EVG
  • 产品产地: 奥地利
  • 应用领域:
  • 产品简介: EVG 610BA是一款手动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，适合于EVG501、EVG510键合机的键合对准

产品简介：

EVG 610BA是一款手动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，适合于EVG501、EVG510键合机的键合对准。

主要特点及参数：

·最大支持6英寸（150mm）晶圆

·对准精度：

底部对准精度≤±2μm 3σ

透明对准精度≤±1μm 3σ

·可选配红外对准