光刻测试

EVG 40NT检测系统
  • 产品品牌: 奥地利 EVG
  • 产品产地: 奥地利
  • 应用领域:
  • 产品简介: EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有级高的精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具

产品简介：

EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有级高的精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具。

主要特点及参数：

·自上而下的显微镜流型测量

·对准精度测量

·CD尺寸测量

·多层厚度测量

·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中