【产品简介】

centrotherm c.HORICOO 300卧式批处理系统是世界上首先用于先进的高产能的 300 mm晶圆加工平台。 设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成。加热系统包括5个双区加热单元，提供centrotherm出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺。 centrotherm Hydrox系统同时支持干氧及湿氧工艺。支持高达1200°C高温工艺，其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度（Dit）和高沟道迁移率的氧化物层。

【适用工艺】

·退火

·扩散

·氧化

·LPCVD

·PECVD